- 危害辨識與資料收集：調查工作場所的化學性（如有機溶劑、粉塵）與物理性（如噪音、高溫、輻射）危害因子，了解原料、製程與作業型態。
- 建立相似暴露族群(SEG)：將工作性質、暴露源、作業時間相近的員工歸類，排定風險等級。
- 規劃採樣策略：決定監測項目、地點、樣本數、採樣方式（個人採樣或區域採樣）及頻率。
- 監測計畫通報：在實施監測 15 日前，將計畫書上傳至主管機關「勞工作業環境監測及暴露評估登錄管理系統」。
- 現場採樣與測定：由認可的專業機構/人員進行現場採樣。
- 樣本分析與紀錄：實驗室分析樣本，製作報告並保存記錄。
- 數據分析與評估：將監測結果與法定容許暴露標準比較，評估員工風險。
- 改善與通報：監測報告於 45 日內完成通報。若濃度超標，需採取工程改善、行政管理或配戴防護具等措施，並持續追蹤。